利用特制的高能高臭氧 UV 紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二硫化碳和苯乙烯、硫化物 H2S、VOC 类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如 CO2、H2O 等。利用高能高臭氧 UV 紫外线光束分化空气中的氧分子产生游离氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对物具有很强的氧化作用，对工业废气及其它异味有去除效果。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能 UV 紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分化氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。
从净化空气效率考虑，我们选择了-C 波段紫外线和臭氧结合电晕电流较高化装置，采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对有害气体进行去除，其中-C波段紫外线主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、尿烷等气体，使物转变为无机物。
